□河南日報社全媒體記者 姚廣強
打破我國半導體產業高品質電子級氫氟酸、高純四氟化硅依賴進口局面,產品大批量供應國內多條芯片生產線,成功進入國際芯片巨頭臺積電供應鏈,并出口韓國、日本市場。多氟多新材料股份有限公司在半導體產業十年磨一劍,多種產品成為補強“中國芯”的關鍵環,融入國際高端半導體產業供應鏈。
3月22日,多輛專用貨車滿載電子級硅烷駛出多氟多子公司中寧硅業廠區。不遠處,新建生產線正在以日新月異的速度“成長”……
“多氟多成為國內唯一能夠大批次生產集成電路用高純四氟化硅氣體的企業,在韓國、日本市場上實現了推廣應用。電子級硅烷與中芯國際、京東方、臺積電等泛集成電路行業領軍企業建立了合作關系,打開了利潤長期增長新空間。”中寧硅業董事會秘書、總經理助理王礦賓介紹。
總部位于焦作市的多氟多,在打造新能源材料和半導體材料領域世界一流企業的道路上闊步前行。鋰電池電解液的關鍵材料六氟磷酸鋰,多氟多率先打破國際技術壟斷,連續多年產銷量位居全球第一。高品質電子級氫氟酸品質達到國際最高的UP-SSS級、純度達到ppt級,居世界先進水平。
高品質電子級氫氟酸是集成電路制造業關鍵材料之一,主要用于芯片清洗、蝕刻等環節,其純度和潔凈度對集成電路的成品率、可靠性都有著十分重要的影響。
深耕氟、硅、磷,助力“中國芯”。早在2006年,多氟多就從磷肥副產氟硅酸的高品質利用入手,攻關電子級氫氟酸制備工藝,進軍半導體產業。
去年12月,多氟多的磷肥副產氟硅資源高質利用成套技術開發及產業化項目,喜獲2023年度中國石化聯合會科技進步一等獎。該項目開發了以磷肥副產品氟硅酸為原料生產高品質電子級氫氟酸聯產白炭黑成套新工藝,解決了磷肥產業環保難題,緩解了氟化工行業對戰略礦產資源螢石的高度依賴,提升了我國集成電路關鍵材料保障能力。
多氟多圍繞氟、硅兩個元素,打造“南北雙基地”,分別專注于干電子化學品和濕電子化學品,挖掘在半導體領域的無限可能。電子級硝酸、電子級氨水、電子級氟化銨……多氟多的系列產品相繼開發成功,為提升我國半導體產業國產化率貢獻了力量。
3月20日至22日舉辦的2024上海國際半導體展上,多氟多的核心產品、關鍵技術、先進解決方案均亮相,企業技術人員與來自全球的客戶、合作伙伴充分交流、深化合作。
“我最大的心愿,就是中國企業擁有自主核心技術,改變半導體行業在國際上的落后局面,不再‘缺芯少魂’。祖國需要什么,我們就做什么。多氟多愿意‘打頭陣’,以科技創新攻克一個個半導體產業‘堡壘’。”多氟多董事長李世江表示。